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      山東飛源集團有限公司

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      三氟化氮
      三氟化氮
      產品詳情:

      產品描述

      三氟化氮在常溫常態下是一種無色穩定的氣體。它具有良好的絕緣性和化學穩定性。三氟化氮不可燃,但能支持燃燒。當溫度在350以上時,氣體會慢慢分解產生強氧化的氟,因此在高溫時,它是一種強氧化劑。

      理化指標

      ImpuritiesNF3≥99.995% Vol.%NF3≥99.99% Vol.%NF3≥99.98% Vol.%NF3≥99.9% Vol.%
      CF4≤20 Vol.ppm≤40 Vol.ppm≤100 Vol.ppm≤500 Vol.ppm
      N2≤5 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤50 Vol.ppm
      O2+Ar≤3 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤50 Vol.ppm
      CO2≤1 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm
      H2O≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm
      HF≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm
      SF6≤1 Vol.ppm≤2 Vol.ppm≤2 Vol.ppm≤25 Vol.ppm
      N2O≤1 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm
      CO≤0.5 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm

      氣體物化特性

      分子量熔點沸點臨界溫度臨界壓力液體密度氣體密度水中溶解度CAS  號危險性類別
      71.01-206.8  ℃  (1atm)-129  ℃  (1atm)-39.3  ℃44.02atm(4.46MPa)1554kg/m3(1atm  沸點時  )2.95kg/m3(1atm 21  ℃)1.43*10-5  當量濃度  (1atm  ,  22  ℃  )7783-54-2第2.3類有毒氣體在空氣中的最高允許含量為29mg/m3

      儲存及運輸

      三氟化氮氣瓶應儲存于陰涼、通風倉庫內。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射,與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。

      三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸,防止鋼瓶及附件破損。

      三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好,用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。

      泄漏應急處理

      如遇有三氟化氮氣體泄露,工作人員要馬上撤離泄漏污染區,并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒,應立即送往醫院救治。

      泄露現場要盡快處理,處理泄露現場的工作人員必須配戴必要的防毒面具,最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場經檢測無危害氣體后方可進入工作人員,泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。

      應用

      三氟化氮已廣泛應用于電子行業,半導體,以及太陽能光伏產業等。它是一種很好的蝕刻清掃氣體,具有清掃無殘留,吹掃速度快,易分解等優點。

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